Matematický model vypařování materiálů z EBG

EBG - Electron beam gun je elektronové dělo, které umožnuje odpařování materiálů a jejich rozptylování při povrstvování jednotlivých čoček. Uspořádání EBG je vzhledem k jeho umístění v komoře nesymetrické vůči povrstvovaným čočkám. Abychom zamezili nestejnému povrstvování čoček odpařovaným materiálem, používáme stínítko, tzv. distribuční clonu, unikátní pro každý stroj. Cílem práce je definovat jak zjisťovat unikátní tvar distribuční clony bez dalšího postupného a zdlouhavého testování pro každou unikátní clonu.